德國hydac壓力傳感器利用應變電阻式工作原理,采用硅- 藍寶石作為半導體敏感元件,具有的計特性。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發生滯后、疲勞和蠕變現象;藍寶石比硅要堅固,硬度更高,不怕形變;藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC 以內),因此,利用硅- 藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性*;另外,硅- 藍寶石半導體敏感元件,無p-n 漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復性,確保了高成品率。
用硅- 藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在zui惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。
表壓壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質外延性應變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產生形變,該形變被硅- 藍寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發生變化,變化的幅度與被測壓力成正比。hydac傳感器的電路能夠保證應變電橋電路的供電,并將應變電橋的失衡信號轉換為統一的電信號輸出(0-5 ,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉換為應變片形變,從而達到壓力測量的目的。
壓電壓力傳感器原理與應用
德國hydac壓力變送器也稱差變送器,主要由測壓元件傳感器、模塊電路、顯示表頭、表殼和過程連接件等組成。它能將接收的氣體、液體等壓力信號轉變成標準的電流電壓信號,以供給指示報警儀、記錄儀、調節器等二次儀表進行測量、指示和過程調節。
hydac壓力變送器的測量原理圖如圖3所示。其測量原理是:流程壓力和參考壓力分別作用于集成硅壓力敏感元件的兩端,其差壓使硅片變形(位移很小,僅μm級),以使硅片上用半導體技術制成的全動態惠斯登電橋在外部電流源驅動下輸出正比于壓力的mV級電壓信號。由于硅材料的強性,所以輸出信號的線性度及變差指標均很高。工作時,壓力變送器將被測物理量轉換成mV級的電壓信號,并送往放大倍數很高而又可以互相抵消溫度漂移的差動式放大器。放大后的信號經電壓電流轉換變換成相應的電流信號,再經過非線性校正,zui后產生與輸入壓力成線性對應關系的標準電流電壓信號。
壓力變送器根據測壓范圍可分成一般壓力變送器(0.001MPa~20MP3)和微差壓變送器(0~30kPa)兩種。
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